Eileen 10月14日，2026湾区半导体产业生态博览会在深圳开幕。展会汇聚22个国家和地区的70余家国际展商，面积近8万平方米，参展企业超过1000家，同比增加66%。展品覆盖离子注入机、薄膜沉积、磁控溅射、SiC功率模块、EDA工具、先进封装量检测等环节。
装备展区，北方华创、中微公司、盛美上海、拓荆科技等企业参展。北方华创展示12英寸光刻、刻蚀、薄膜沉积等设备工艺方案；拓荆科技带来新一代PECVD产品PF-300M Supra-D，采用串联式高产能平台和独立RPS系统；中微公司展出Primo XD-RIE™极高深宽比刻蚀设备，采用自研工艺气体架构，在保证刻蚀性能的同时降低温室气体排放。
新凯来携万里眼、启云方参展，展示制造装备、超高速测量仪器和EDA工具链。现场人员称此次没有发布新产品与新技术；其物理与X射线量测产品单台售价千万元级别，光学检测和光学量测单台售价亿元级别。启云方发布EDA系统级电子设计工具链，称可将电子设计系统周期缩短20%，芯片一版成功率提升30%；CEO苏立清透露10月15日推出启云方小笼虾™M智能体安全方案。
功率器件方面，方正微电子推出SiC DIP32功率模块，首发1200V 35mΩ及1200V 60mΩ两款，适配车载OBC、悬架电控、车载DC-DC。董事长陆波称，公司已覆盖650V-1200V全系列碳化硅器件，正向1500V、3300V迭代，可满足AI服务器电源、UPS、数字变压器等需求，并已与超聚变、华为等头部算力厂商合作，产品进入量产交付。长飞先进展示覆盖工业级到车规级的全系列碳化硅功率器件，针对AI算力、固态变压器等场景推出十余款SiC MOSFET及功率模块。
